La salle blanche

Infos Complémentaires

Les salles blanches de la région parisienne :

La salle blanche du département de physique a été inaugurée en 1981 et entièrement repensée en 2006 grâce aux fonds alloués par le CNRS, la région Île-de-France, l’ANR, l’ENS et le ministère de la recherche.

Depuis 2004, date de sa labellisation, cette dernière est membre de la « Centrale de Proximité Paris Centre », consortium qui regroupe, avec celle du département, les salles blanches de l’INSP, de l’ESPCI, de l’Observatoire de Paris et du laboratoire MPQ (voir ci-contre).
Le site de l’ENS (140 m2 au sous-sol du département) rassemble les installations de base nécessaires à la micro-nano fabrication. L’équipement structurant est le système de lithographie électronique Raith « eline » à coté duquel on trouve des installations de lithographie optique, dépôt sous vide (effet Joule, pulvérisation cathodique, croissance de nanotubes de carbone par CVD), gravure (par voie humide et sèche via une R.I.E fluorée) et caractérisation (profilomètre mécanique, microscope à force atomique).

Cette plate-forme essentielle du département est sous la responsabilité d’un ingénieur, Michael Rosticher (GH102, 01 44 32 34 42) et d’un assistant-ingénieur José Palomo (GH102, 01 44 32 43 51).

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